PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機(jī)介紹：
去膠工藝是微加工過程中一個(gè)重要的過程，在電子束曝光，紫外曝光等微納米加工工藝后，都要對光刻膠進(jìn)行去除或打底膜處理。光刻膠是否去除干凈對樣片是否有損傷等問題，將直接影響后續(xù)工藝的順利完成。PLUTO-MD使用性能出色的組件和軟件，可對工藝參數(shù)進(jìn)行精確控制。它的工藝監(jiān)測和數(shù)據(jù)采集軟件可實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格的質(zhì)量控制。該技術(shù)已經(jīng)成功的應(yīng)用于功率晶體管、模擬器件、傳感器、光學(xué)器件、光電、EMS/MOEMS、生物器件、LED等領(lǐng)域。
PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機(jī)特點(diǎn)：
1. 桌面型，普通實(shí)驗(yàn)臺即可安置。操作簡便上手快、使用成本極低、易于維護(hù)。
2.適合于4~6寸硅片及相同面積去膠，可選配硅片專用托盤。
3.內(nèi)置雙層氣浴電極，有效提高清洗效率。配有節(jié)流閥，防止真空泵油霧回流?？蛇x配耐用電極，降低長時(shí)間使用后的腔體污染。
4.配置200W/13.56MHz等離子發(fā)生器。兼顧物理作用和化學(xué)作用。
5.具備前后吹掃功能，保證樣品處理潔凈度，可配置獨(dú)立吹掃氣路。
6.可選配電極間距可調(diào)，對各種幾何形狀、表面粗糙程度各異的金屬、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等物件表面進(jìn)行超清洗和表面改性。
PLUTO-MD(8L)小型等離子去膠機(jī)參數(shù)：
小型等離子去膠機(jī)應(yīng)用：
產(chǎn)品型號：PLUTO-MD(8L)
公司地址：上海市康橋東路1369號C棟220
公司郵箱：1399511421@qq.com
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